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J-GLOBAL ID：201402231794923632   整理番号：14A0657030

窒化ハフニウム薄膜に関する非ラザフォード陽子弾性散乱のエネルギー依存性

Energy dependence of non-Rutherford proton elastic scattering spectrum for hafnium nitride thin film

著者 (3件)： GOTOH Yasuhito (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  OHUE Wataru (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TSUJI Hiroshi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 315  ページ： 68-71  発行年： 2013年11月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化ハフニウム ,  薄膜 ,  陽子 ,  弾性散乱 ,  エネルギー依存性