Ir電極上に有機金属化学蒸着で成長したHf0.5Zr0.5O2に対する熱処理条件の効果

SHIMIZU Takao; YOKOUCHI Tatsuhiko; SHIRAISHI Takahisa; OIKAWA Takahiro; KRISHNAN P. S. Sankara Rama; FUNAKUBO Hiroshi

文献

J-GLOBAL ID：201402234586121564 整理番号：14A1272780

Ir電極上に有機金属化学蒸着で成長したHf_0.5Zr_0.5O₂に対する熱処理条件の効果

Study on the effect of heat treatment conditions on metalorganic-chemical-vapor-deposited ferroelectric Hf_0.5Zr_0.5O₂ Thin film on Ir electrode

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資料名：
巻： 53 号： 9S ページ： 09PA04.1-09PA04.6 発行年： 2014年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

有機金属化学蒸着で成長したHf_0.5Zr_0.5O₂の構成相及び電気的性質に対する熱処理条件の効果について調査した。成長後の低温,短時間のポスト熱処理により四面体相は増加し,その結果誘電率が高くなった。他方,高温,長時間の熱処理を行うと膜中の単斜晶系の相の体積比が増加した。これらのフィルムの強誘電特性および誘電特性は非常に劣っていた。優れた強誘電特性,及び斜方晶系の体積比の大きな相が,中間的な熱処理条件で得られた。これらの結果は,強誘電性の起源を理解し,HfO₂ベースの膜の相と電気的特性を制御するために役に立つ情報を与えてくれた。(翻訳著者抄録)

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 無機化合物の結晶構造一般

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