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J-GLOBAL ID：201402237101907467   整理番号：14A0564976

弱アルカリ性スラリー中のコバルトCMPに及ぼすH₂O₂およびグリシンの相乗効果

Synergetic effect of H₂O₂ and glycine on cobalt CMP in weakly alkaline slurry

著者 (6件)： JIANG Liang (State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  JIANG Liang (Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA) ,  HE Yongyong (State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  LI Yan (Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA) ,  LI Yuzhuo (Center for Advanced Materials Processing, Clarkson Univ., Potsdam, NY 13699, USA) ,  LUO Jianbin (State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 122  ページ： 82-86  発行年： 2014年06月25日 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コバルトは,次世代超大規模集積回路に対する障壁金属の最も有望な候補の一つとして選ばれている。本論文は,コバルト研磨性能に及ぼす酸化剤状H₂O₂と錯化剤状グリシンの相乗効果について調査した。コバルトの静的エッチング速度(SER)と除去速度(RR)は,コバルト表面上の緻密で受動的な酸化コバルトの形成により,pHの増加とともに抑制され,高濃度のH₂O₂の添加はさらにコバルトRRを低減できることが明らかにされた。しかし,pH8.00で,H₂O₂とグリシンの相乗効果によって,コバルトSERとRRは溶解性Co(III)-グリシン錯体の形成により増加されることができる。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *相乗作用 ,  *過酸化水素 ,  *コバルト ,  *化学研磨 ,  *塩基性 ,  *スラリー ,  *LSI【IC】 ,  酸化剤 ,  試薬 ,  加工速度 ,  酸化コバルト ,  pH依存性 ,  *エッチング ,  化学反応 ,  アミノ酸 ,  脂肪族アミン ,  脂肪族カルボン酸 ,  化学機械研磨 ,  弱アルカリ性 ,  錯化剤 ,  *機械工作
準シソーラス用語： CMP【化学研磨】 ,  エッチング速度 ,  除去速度

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

物質索引 (1件)： グリシン

タイトルに関連する用語 (7件)： 弱アルカリ性 ,  スラリー ,  コバルト ,  CMP ,  H2O2 ,  グリシン ,  相乗効果