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J-GLOBAL ID：201402243188706870   整理番号：14A1049505

シリコンフォトニクス製造工場の努力の展望

Review of Silicon Photonics Foundry Efforts

著者 (10件)： LIM Andy Eu-Jin (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  SONG Junfeng (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  SONG Junfeng (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  FANG Qing (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  LI Chao (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  TU Xiaoguang (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  DUAN Ning (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  CHEN Kok Kiong (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  TERN Roger Poh-Cher (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore) ,  LIOW Tsung-Yang (Inst. Microelectronics, A*STAR, Singapore)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 20  号： 4  ページ： 8300112,1-12  発行年： 2014年07月 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンフォトニクスの実用化と商業化に向けた工業事業所における開発努力の現状を展望した。先ず,工場無し半導体モデルとしてのシリコンフォトニクスの採用,標準CMOS技術ノードにおけるフォトニクスの集積,及び現在の技術プラットフォームについて述べた。次に,研究開発のために一般公衆にとって利用可能なシリコンフォトニクス製造工場サービス,及びプロトタイピングを示した。これらは多重プロジェクトウエハシャトル及びカスタム化開発実行の両方をカバーする。最後に,シリコンフォトニクスを大規模生産化へ押し進める価値連鎖の重要性と共に,商業的工業事業所ラインの設定を議論した。

シソーラス用語： *オプトエレクトロニクス ,  ケイ素 ,  CMOS構造 ,  *生産工場 ,  実用化 ,  商業化 ,  プロトタイピング ,  カスタム化 ,  大量生産 ,  *生産ライン ,  均一性 ,  RIE【エッチング】 ,  ナノメータ加工 ,  標準化 ,  製品開発 ,  信頼性
準シソーラス用語： クリティカルディメンジョン均一性 ,  *シリコンフォトニクス ,  半導体工場

分類 (2件)： 電子工学一般  (NC01000A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコンフォトニクス ,  工場 ,  展望