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J-GLOBAL ID：201402243456406515   整理番号：14A0046441

鉄白金ナノ粒子の単層規則配列形成に向けた塗布成膜条件の最適化

Fine Tuning of Coating Conditions for Arrangement to FePt Nanoparticles Monolayer Film

著者 (14件)： 蜂巣琢磨 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  四反田卓 (早稲田大 理工学術院) ,  相川健一郎 (早稲田大 理工学術院) ,  藤平誉樹 (早稲田大 理工学術院) ,  杉山敦史 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  水野潤 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  水野潤 (早稲田大 理工学術院) ,  庄子習一 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  庄子習一 (早稲田大 理工学術院) ,  逢坂哲彌 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  逢坂哲彌 (早稲田大 理工学術院) ,  山根明 (昭和電工) ,  坂脇彰 (昭和電工) ,  茂智雄 (昭和電工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 113  号： 297(MR2013 19-25)  ページ： 1-6  発行年： 2013年11月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 化学的合成により得られる数ナノメートルの均一粒径にそろったナノ粒子は高い自己組織化形成能(Direct self assembled;DSA)を有し,均一粒子配列による電子デバイスの高機能化に注目が集まっている。DSAによる粒子配列膜を垂直磁気記録ビットパターンメディア(BPM)に適用するためには,粒子配列ドメインの高面積化が必須である。粒子配列ドメインの高面積化が達成困難である因子として,粒径分布や粒子分散溶液の不均一な溶媒揮発が挙げられ,平滑な基板上でのドメイン領域は数10nm程度に留まっている。我々は,粒子-基板間および粒子-粒子間の相互作用を利用した化学的手法と配列の乱れを抑制するガイドパターンを組み合わせ,また簡便なマイクロピペット塗布成膜を用いることでFePtナノ粒子のDSA配列制御を見出してきた。そこで本稿ではウエハーレベルでの広範囲な単層状ナノ粒子配列膜の形成技術確立を目的に,塗布成膜する粒子分散液の分散剤濃度と塗布量の影響について検討を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *鉄 ,  *ナノ粒子 ,  *単一層 ,  *塗膜 ,  *最適化 ,  構成 ,  *配列 ,  自己組織化 ,  磁気ディスク ,  粒度分布 ,  分散【dispersion】 ,  実験用器具 ,  分散剤 ,  *白金ナノ粒子 ,  粒子分散 ,  薄膜形成 ,  *改変
準シソーラス用語： ビットパターンメディア ,  マイクロピペット ,  成膜

分類 (2件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 鉄 ,  白金ナノ粒子 ,  単層 ,  規則配列 ,  成膜条件 ,  最適化