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J-GLOBAL ID：201402247049240900   整理番号：14A0561956

Al/Ni発熱素材による瞬間はんだ接着法-クラックレス接着の試み-

著者 (5件)： 松田隆紀 (兵庫県大) ,  森角寿之 (兵庫県大) ,  生津資大 (兵庫県大) ,  生津資大 (JST-PRESTO, Saitama, JPN) ,  井上尚三 (兵庫県大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.J032024  発行年： 2012年09月08日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,Al/Ni多層膜のはんだ接着応用を目指し,まず,反応限界膜厚を調査した。Al/Ni多層膜の成膜基板により反応限界膜厚の違いが存在した。複数点で同時にAlNi発熱反応を開始可能なマルチプローブシステムを開発し,Siチップをはんだ接着した際に生成されるクラックの様子を調べた。その結果,クラックは発熱反応同士がぶつかり合う場所に形成されることがわかった。接着部のサイズやAlNiの厚みを変化させて接着実験を行った結果,Al/Ni多層膜厚とはんだ接着幅を最適化することでクラックを抑制できる可能性があることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *多層膜 ,  *はんだ付 ,  アルミニウム ,  ニッケル ,  発熱反応 ,  最適化 ,  接着試験 ,  X線画像 ,  MEMS ,  金属間化合物 ,  半導体チップ ,  *抑制
準シソーラス用語： Siチップ ,  *亀裂制御

分類 (3件)： ろう付  (WC07050C) ,  接続部品  (NA05050Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： Al ,  Ni ,  発熱 ,  素材 ,  瞬間 ,  はんだ ,  接着法 ,  クラック ,  レス ,  試み