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J-GLOBAL ID：201402250475581545   整理番号：14A1401568

接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微欠陥検出に関する研究-素子プロファイル改善と接触検知感度の検討-

著者 (3件)： 清水裕樹 (東北大) ,  大場裕太 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.Q18  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 磁気ディスク,光学素子などのナノ平滑面上の微小欠陥検出手法として,マイクロメートルオーダーサイズの熱検知素子を用い,測定対象面-熱検知素子界面における微小熱収支をもとに微小欠陥を検出する,マイクロ熱検知センサのコンセプトを検討している。本報では,平滑面上の微小欠陥検出実現に向け,熱検知素子プロファイルの改善を図るとともに,その接触検知感度と接触検知メカニズムとについて検討した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *滑面 ,  ナノ構造 ,  *表面欠陥 ,  故障検出 ,  *センサ ,  感度 ,  マイクロメータ ,  熱収支 ,  磁気ディスク ,  光学素子
準シソーラス用語： 平滑面 ,  微小欠陥 ,  *欠陥検出 ,  熱センサ ,  マイクロセンサ ,  接触検出器 ,  *検出感度

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 検知センサ ,  平滑面 ,  欠陥検出 ,  研究 ,  プロファイル ,  検知感度