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J-GLOBAL ID：201402253737349486   整理番号：14A1231792

磁気MEMSの開発現状 感光性磁気ナノコンポジットを用いた磁気駆動MEMSデバイス

Magnetically Driven MEMS Devices Using Photosensitive Magnetic Nanocomposite

著者 (2件)： 鈴木孝明 (香川大 工) ,  大平文和 (放送大 香川学習セ)
資料名： まぐね  (Magnetics Japan)
巻： 9  号： 5  ページ： 217-222  発行年： 2014年10月01日 
JST資料番号： L5842A  ISSN： 1880-7208  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エポキシ樹脂をベースとしたフォトレジストに磁性ナノ粒子を分散させた感光性磁気ナノコンポジットを製作し,フォトリソグラフィによる加工特性および機械特性について述べた。この感光性ナノコンポッジットの応用例として,低コスト化が期待できる光偏向用MEMSミラーのデバイス構成とその製作方法,およびその駆動特性を述べた。さらに感光性ナノコンポジットのもう一つの応用例として,マイクロポンプを取り上げた。感光性ナノ磁気コンポジットを用いることにより,磁性膜と中空構造を一括形成することができる。その構成と製作方法,およびその駆動特性について述べた。このマイクロポンプは,ごく少量の流量で送液が可能であることがわかった。

シソーラス用語： *MEMS ,  永久磁石 ,  フォトレジスト ,  フォトリソグラフィー ,  光偏向 ,  *反射鏡 ,  ポンプ ,  磁性薄膜 ,  駆動機構 ,  マイクロポンプ ,  *マイクロミラー
準シソーラス用語： *MEMSミラー ,  ナノコンポジット磁石 ,  感光性レジスト

分類 (2件)： 磁電デバイス  (NC03100X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• N. Damean, B. A. Parviz, J. N. Lee, T. Odom, and G. M. Whitesides: Journal of Micromechanics and Microengineering, 15, 29 (2005).
• M. Suter, O. Ergeneman, J. Zürcher, C. Moitzi, S. Pané, T. Rudin, S.E. Pratsinis, B.J. Nelson, and C. Hierold: Sensors and Actuators B, 156, 433 (2011).
• S. Jiguet, A. Bertsch, M. Judelewicz, H. Hofmann, and P. Renaud, Microelectronic Engineering, 83,1966 (2006).
• H. Lorenz, M. Despont, N. Fahrni, N. LaBianca, P. Renaud, and P. Vettiger: Journal of Micromechanics and Microengineering, 7, 121 (1997).
• O. Solgaard, A. A. Godil, R. T. Howe, L. P. Lee, Y. A. Peter, and H. Zappe: Journal of Microelectromechanical Systems, 23, 517 (2014).

タイトルに関連する用語 (8件)： 磁気 ,  MEMS ,  開発 ,  現状 ,  感光性 ,  ナノコンポジット ,  磁気駆動 ,  MEMSデバイス