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J-GLOBAL ID：201402256256625470   整理番号：14A1117859

相境界近傍におけるScAlN膜の電気機械結合とギガヘルツ弾性定数

Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary

著者 (2件)： YANAGITANI Takahiko (Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN) ,  SUZUKI Masashi (Graduate School of Engineering, Nagoya Inst. of Technol., Nagoya 466-8555, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 105  号： 12  ページ： 122907-122907-4  発行年： 2014年09月22日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *圧電材料 ,  *スカンジウム化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *窒化物 ,  置換型固溶体 ,  相境界 ,  *誘電体薄膜 ,  濃度依存性 ,  格子定数 ,  誘電率 ,  縦波 ,  音速 ,  固有モード ,  結合係数 ,  周波数 ,  単位 ,  剛性 ,  温度依存性 ,  *振動子 ,  基板 ,  石英ガラス
準シソーラス用語： 厚みモード ,  電気機械結合係数 ,  ギガヘルツ ,  スティフネス ,  *超音波振動子

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 相境界 ,  近傍 ,  電気機械 ,  ギガヘルツ ,  弾性定数