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J-GLOBAL ID：201402261613683860   整理番号：14A0304270

誘導ナノ構造科学 化学的界面制御による金属ナノ粒子の単層配列形成とその高機能デバイス応用-ウエハースケールでのテラナノドット/平方インチ級配列膜形成を目指して-

著者 (9件)： 蜂巣琢磨 (早稲田大) ,  水野潤 (早稲田大) ,  庄子習一 (早稲田大) ,  逢坂哲彌 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  蜂巣琢磨 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  水野潤 (早稲田大 ナノ理工学研究機構) ,  庄子習一 (早稲田大 理工学術院) ,  逢坂哲彌 (早稲田大 理工学術院) ,  逢坂哲彌 (早稲田大)
資料名： 機能材料  (Function & Materials)
巻： 34  号： 3  ページ： 9-17  発行年： 2014年03月05日 
JST資料番号： Y0021A  ISSN： 0286-4835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ粒子のバルク的な材料特性とそのナノサイズ効果を利用した高機能デバイス開発は,デバイスに応じた粒子設計による粒子合成と配列技術の確立なくしては実現し得ない。本稿では,特に,ウエットプロセスによるナノ粒子合成と化学的界面制御による単層状の自己組織的配列形成制御,ウエハーレベルへのスケールップ展開を見据えた我々の取り組みを紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  ウエハ【IC】 ,  配列 ,  ナノ構造 ,  自己組織化 ,  層 ,  磁気記録材料 ,  塗布 ,  分散系 ,  記憶媒体 ,  カルボニル錯体 ,  鉄錯体 ,  白金錯体 ,  結晶成長 ,  ナノドット ,  *金属ナノ粒子 ,  鉄カルボニル化合物 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  記録層 ,  磁気記録メディア

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

物質索引 (1件)： 3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン

タイトルに関連する用語 (15件)： 誘導 ,  ナノ構造科学 ,  化学 ,  界面制御 ,  金属ナノ粒子 ,  単層 ,  配列形成 ,  機能デバイス ,  応用 ,  ウエハース ,  ケール ,  テラ ,  ナノドット ,  インチ ,  膜形成