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J-GLOBAL ID：201402261992219092   整理番号：14A0408780

微細加工回折格子ファイバを用いた曲げ方向および曲げ度の同時測定

Simultaneous Measurement of Bend Direction and Degree of Curvature using Micromachined Grating Fibers

著者 (5件)： KUMAZAKI Hironori (Gifu National Coll. of Technol.) ,  HIRAMATSU Munehiro (Gifu National Coll. of Technol.) ,  OGURI Hisakazu (Gifu National Coll. of Technol.) ,  INABA Seiki (Gifu National Coll. of Technol.) ,  HANE Kazuhiro (Tohoku Univ.)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 134  号： 3  ページ： 41-46 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 曲げ方向および曲げ度を同時に測定できる新しい光ファイバ曲げセンサの設計および作製について報告する。このセンサでは二つのファイバBragg回折格子(FBG)が連続して配置されている。これらのFBGは,独立の単一モードファイバでエッチング面は異なるが非対称断面が同じで,二つの反射中心波長は異なる。これらの断面はCF₄プラズマを用いた異方性反応性イオンエッチング(RIE)により作製されたものである。二つのFBGの反射中心波長は,一定曲げ送り変位下での曲げ度の関数としてπ/2の位相差で正弦的に変移する。著者らの以前の研究で反射中心波長は非対称断面のFBGの曲げ度の関数として直線的に変移することが分かったので,このセンサを使用して二つのFBGに対する一対の中心反射波長変移から曲げ方向と曲率の両方を検出できる。これらの実験結果を,エッチングした光ファイバのコアの歪から計算した理論値と比較した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *回折格子 ,  *Bragg反射 ,  *光ファイバ ,  *RIE【エッチング】 ,  異方性 ,  *曲げ ,  *同時計測 ,  *光ファイバセンサ ,  単一モードファイバ ,  曲率 ,  コア構造 ,  周波数シフト ,  フロン
準シソーラス用語： ファイバBragg回折格子 ,  異方性エッチング ,  波長シフト

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

物質索引 (1件)： 四ふっ化炭素

引用文献 (12件)：

• (1) C. C. Ye, S. W. James, and R. P. Tatam : “Simultaneous temperature and bend sensing with long-period fiber gratings”, Opt. Lett., Vol. 25, No. 14, pp. 1007-1009 (2000)
• (2) Y.-J. Rao, Y.-P. Wang, Z.-L. Ran, and T. Zhu : “Novel Fiber-Optic Sensors Based on Long-Period Fiber Gratings Written by High-Frequency CO₂ Laser Pulses”, Journal of Lightwave Technology, Vol. 21, No. 5, pp. 1320- (2003)
• (3) D. Zhao, K. Zhou, X. Chen, L. Zhang, I. Bennion, G. Flockhart, W. Macpherson, J. Barton, and J. Jones : “Implementation of vectorial bend sensors using long-period gratings UV-inscribed in special shape fibers”, Meas. Sci. Technol., Vol. 15, pp. 1647-1650 (2004)
• (4) A. Martinez, Y. Lai, M. Dubov, I. Y. Khrushchev, and I. Bennion : “Vector being sensors based on fiber Bragg gratings inscribed by infrared femtosecond laser”, Electron. Lett., Vol. 41, No. 8, pp. 472-474 (2005)
• (5) G. A. Cranch, G. Flockhart, W. MacPherson, J. Barton, and C. Kirkendall : “Ultra-high-sensitivity two-dimensional bend sensor”, Electron. Lett., Vol. 42, No. 9, pp. 1516-1517 (2006)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細加工 ,  回折格子 ,  ファイバ ,  曲げ方向 ,  曲げ ,  同時測定