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J-GLOBAL ID：201402263213485477   整理番号：14A0272379

新規空冷アルゴン/ヘリウム両立誘導結合プラズマトーチ

A New Air-cooled Argon/Helium-compatible Inductively Coupled Plasma Torch

著者 (6件)： MIYAHARA Hidekazu (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol.) ,  IWAI Takahiro (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol.) ,  KABURAKI Yuki (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol.) ,  KOZUMA Tomokazu (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol.) ,  SHIGETA Kaori (Inst. for Environmental Management Technol.) ,  OKINO Akitoshi (Dep. of Energy Sciences, Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： Analytical Sciences  (Analytical Sciences)
巻： 30  号： 2  ページ： 231-235 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： G0673B  ISSN： 0910-6340  CODEN： ANSCEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空冷システムによる新規誘導結合プラズマ(ICP)トーチを設計し,アルゴンおよびヘリウムプラズマのために開発した。同一トーチおよびインピーダンス整合ネットワークは,安定なAr-およびHe-ICP生成に利用できた。トーチは3個の同心石英チューブからなる。キャリアガス,プラズマガスおよび空冷ガスは各チューブ間の間隔を介して流れた。実験により,Ar-ICPは次の条件下で安定なプラズマを形成した:1kWのRFパワー,11L/分のプラズマガスの流速,20L/分の空冷ガスの流速。He-ICPに対し,2kWの入力RFパワーが,プラズマガスおよび空冷ガスそれぞれ15および20L/分でプラズマに適応された。このトーチにより,Ar-およびHe-ICPに対するより低いプラズマガス消費,He-ICPに対する高出力駆動が可能である。空冷ガスは空冷ガストプラズマガス管の圧力差によりプラズマの形状を安定化することが見られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマトーチ ,  *誘導結合プラズマ ,  空気冷却 ,  *アルゴン ,  *ヘリウム ,  インピーダンス ,  圧力 ,  キャリアガス ,  圧力差 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： *ICP

分類 (1件)： 電磁場中の粒子の運動及び放射  (BD01030Y)

引用文献 (25件)：

• 1. C. D. Allemand and R. M. Barnes, Appl. Spectrosc., 1977, 31, 434.
• 2. R. N. Savage and G. M. Hieftje, Anal. Chem., 1979, 51, 408.
• 3. A. D. Weiss, R. N. Savage, and G. M. Hieftje, Anal. Chem. Acta, 1981, 124, 245.
• 4. B. S. Ross, P. Yang, and G. M. Hieftje, Appl. Spectrosc., 1991, 45, 190.
• 5. G. R. Kornblum, W. Van der Waa, and L. de Galan, Anal. Chem., 1979, 51, 2378.

タイトルに関連する用語 (5件)： 空冷 ,  アルゴン ,  ヘリウム ,  誘導結合プラズマ ,  トーチ