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J-GLOBAL ID：201402277254470620   整理番号：14A0045523

定在波スケール(SWS)検出法に基づく光放射圧を用いて制御された粒子を用いた座標計測法に用いるマイクロプローブシステム

Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method

著者 (3件)： TAKAYA Yasuhiro (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MICHIHATA Masaki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HAYASHI Terutake (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8769  号： Pt.1  ページ： 876906.1-876906.10  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロレンズおよびマイクロマシン技術(MEMS)用チップ等の微細な部品は,高度の精度をもって作成しなければならない。そのためには,これまでにない動作距離が長く,測定域が広く,かつ高分解能のマイクロプローブが必要である。本論文では,座標計測法のための新規なプローブ技術について論じる。光学的にトラップされた微小球を検知プローブとして用いた新規なSWS検知マイクロプローブを提示した。提案された技術の寸法および形状測定への可能性を,滑らかな表面およびトレンチ構造の測定によって実証した。

シソーラス用語： 計測器 ,  *圧力 ,  *マイクロプローブ ,  *計測 ,  光トラッピング ,  ミクロスフェア
準シソーラス用語： 光トラップ ,  *座標計測 ,  定在波計測器 ,  微小球 ,  *放射圧

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学一般  (BD03010Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 定在波 ,  スケール ,  SWS ,  検出法 ,  光放射圧 ,  座標計測 ,  プローブシステム