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J-GLOBAL ID：201402296254093805   整理番号：14A0054784

ICP-RIEを用いた電熱マイクロアクチュエータのための自己整合シングルマスク作製工程

Self-aligned Single-mask Fabrication Process for Electro-thermal Microactutors using ICP-RIE

著者 (4件)： DOW Ali B. Alamin (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  GOUGAM Adel (Masdar Inst., Abu Dhabi, ARE) ,  KHERANI Nazir P. (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  RANGELOW I. W. (Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8763  号： Pt.2  ページ： 87632W.1-87632W.7  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 純粋なシリコン基板から独立型シリコン微細構造を直接作製した。多くのSOI作製工程とは異なり,構造を解放するためのウェットエッチングを必要とはしない。マイクロピンセットを集積化したマイクロアクチュエータを作製し,試験した。RF-MEMSとともに,高性能MEMSセンサとアクチュエータを作製するのに,ここで開発した自己整合工程を使用することができる。

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,  圧抵抗効果 ,  エネルギー供給 ,  モデリング ,  MEMS ,  RIE【エッチング】 ,  誘導結合プラズマ ,  自己整合 ,  窒化アルミニウム ,  ドライエッチング ,  プラズマエッチング ,  *マスク ,  微細構造
準シソーラス用語： エネルギーハーベスティング ,  ICP

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ICP ,  RIE ,  電熱 ,  マイクロアクチュエータ ,  自己整合 ,  マスク ,  作製