抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MR(磁気抵抗効果)センサは,直流磁場から数MHzの交流磁場までの広い周波数領域で高感度検出が可能である。その為,低周波数の磁場印加に対して,試料から発生する二次的な磁場信号を感度良く検出できる可能性がある。また,動作周波数帯域を十分に広く確保することで,磁場信号の時間領域波形を歪ませることなく測定することが可能である。本稿では,MRセンサを用いた磁気非破壊検査について述べた。交流磁場印加では,1kHz動作と比較して50Hz動作の方が,深部欠陥に対して磁場変化率が大きいことが示された。パルス磁場印加では,得られる磁場の時間波形の周波数成分を解析することで,検出システムやリフトオフ距離に依存しない非破壊検査が可能であることが示された。また,この手法により,試料厚さの非破壊計測,試料断面構造の評価が可能であることが示された。従来の検出コイルは印加磁場周波数が低くなるほど検出感度が低下するのに対して,MRセンサでは,一般的に直流磁場から数十MHzまでの広帯域の磁場を検出することができる。また,MRセンサは,小型化が容易であり,幅広いシステム設計の自由度を確保することができる。