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J-GLOBAL ID：201402299419130947   整理番号：14A0706488

分子性前駆体法で作製したGa-In-O多結晶薄膜に関する陰極線ルミネセンススペクトル

Cathodoluminescence spectra of Ga-In-O polycrystalline films fabricated by molecular precursor method

著者 (14件)： ONUMA Takeyoshi (Tokyo National Coll. Technol., Tokyo, JPN) ,  ONUMA Takeyoshi (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  YASUNO Taihei (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  TAKANO Soichiro (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  GOTO Ryousuke (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  FUJIOKA Shuhei (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  HATAKEYAMA Takumi (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  ODA Takuto (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  HARA Hiroki (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  MOCHIZUKI Chihiro (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  NAGAI Hiroki (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  YAMAGUCHI Tomohiro (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  SATO Mitsunobu (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  HONDA Tohru (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 53  号： 5S1  ページ： 05FE02.1-05FE02.4  発行年： 2014年05月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子性前駆体法(MPM)で作製した多結晶性Ga-In-O(GIO)薄膜からの陰極線ルミネセンス(CL)スペクトルを測定した。バンドギャップエネルギー(E_g)および電気伝導率を,GaおよびInの前駆体溶液の混合比の変化により制御することに成功した。作製した薄膜に,近バンド端発光を示すものは無かったが,CL発光はGIO化合物でのE_gおよび配位子場の変化を反映してエネルギーシフトを示した。この結果は,深紫外オプトエレクトロニック素子に対するMPM成長GIO薄膜の実用利用を示唆した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *陰極線ルミネセンス ,  発光スペクトル ,  *多結晶 ,  *ガリウム化合物 ,  *インジウム化合物 ,  酸化物 ,  *置換型固溶体 ,  エネルギー ,  バンドギャップ ,  バンド構造 ,  前駆体 ,  紫外線 ,  配位子場 ,  固体素子 ,  *薄膜 ,  結晶構造 ,  X線回折 ,  可視スペクトル ,  紫外スペクトル ,  電気伝導率
準シソーラス用語： オプトエレクトロニクス素子 ,  バンドギャップエネルギー ,  バンド端発光 ,  光透過スペクトル ,  紫外可視スペクトル ,  深紫外線

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

引用文献 (28件)：

• N. Ueda, H. Hosono, R. Waseda, and H. Kawazoe, Appl. Phys. Lett. 70, 3561 (1997).
• Y. Kokubun, K. Miura, F. Endo, and S. Nakagomi, Appl. Phys. Lett. 90, 031912 (2007).
• T. Oshima, T. Okuno, N. Arai, N. Suzuki, S. Ohira, and S. Fujita, Appl. Phys. Express 1, 011202 (2008).
• M. Higashiwaki, K. Sasaki, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Appl. Phys. Lett. 100, 013504 (2012).
• M. Higashiwaki, K. Sasaki, T. Kamimura, M. H. Wong, D. Krishnamurthy, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Appl. Phys. Lett. 103, 123511 (2013).

タイトルに関連する用語 (7件)： 分子性 ,  前駆体 ,  作製 ,  Ga ,  多結晶薄膜 ,  陰極線ルミネセンス ,  スペクトル