保護された読み出し電極アセンブリ及びアバランシェ粒子検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：勝沼宏仁 , 佐藤泰和 , 川崎康 , 関根毅
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122136
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242320
特許番号：特許第5638664号
出願日： 2013年06月10日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アバランシェ粒子検出器用の読み出し電極アセンブリ(10)であって、複数の読み出しパッド(12)と、前記複数の読み出しパッド(12)上及び/または前記複数の読み出しパッド(12)間に形成される絶縁層(20)と、前記複数の読み出しパッド(12)よりも上側で前記絶縁層(20)中に形成される複数のレジスタパッド(24)と、を備え、前記複数のレジスタパッド(24)は、前記絶縁層(20)の少なくとも一部によって前記複数の読み出しパッド(12)から空間的に分離される、読み出し電極アセンブリ(10)。

IPC (1件)：