特許
J-GLOBAL ID：201403000643935894

レーザ加工機

発明者：
李俊豪

李俊豪 について


出願人/特許権者：
李俊豪

李俊豪 について


代理人 (1件)： 山口 朔生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-149549
公開番号（公開出願番号）：特開2013-018053
特許番号：特許第5531060号
出願日： 2012年07月03日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバーと、 レーザシステムであって、前記チャンバー内部の下方に設けられ、進行方向が重力方向と反対するレーザ光の出力に用いられるレーザシステムと、 前記チャンバー内部の両側の上方に1個ずつ設けられ、対向する吸着面と連結面とを備え、且つ、前記吸着面は前記連結面の下方に位置し、加工物を吸着するために用いられる2個の加工ステージと、 前記チャンバー内部の上方に設けられ、前記2個の加工ステージの前記連結面に対応して連結し、前記2個の加工ステージを運動するために用いられる2個の上部運動ステージと、 前記チャンバー内部の下方に設けられ、前記加工物を測定するものであり、該測定結果に基づいて、前記レーザシステムがレーザパラメータを修正すると共に前記加工物を修整可能な光学測定システムと、 前記チャンバー内部の下方に設けられ、前記光学測定システムを載置、並びに、運動するための第2の下部運動ステージと、 前記2個の加工ステージの運動変化をそれぞれ検出するための加速度計と、 前記2個の加工ステージに対応して前記チャンバー外部の下方に設けられ、その減衰係数が前記2個の加速度計の検出データに対応して変わる2個のダンパーシステムと、を含み、 前記レーザシステムは前記2個の加工ステージのいずれかにある前記加工物を加工し、前記光学測定システムが別の前記加工ステージにある前記加工物を測定するものであることを特徴とするレーザ加工機。
IPC (4件)：
B23K 26/10 ( 200 6.01) ,  B23K 26/142 ( 201 4.01) ,  B23K 26/00 ( 201 4.01) ,  B23K 26/16 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B23K 26/10 ,  B23K 26/14 A ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/16
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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