特許
J-GLOBAL ID：201403002298138105

電解銅めっき液及び電解銅めっき方法

発明者：
齊藤 睦子

齊藤 睦子 について

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酒井 誠

酒井 誠 について

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水野 陽子

水野 陽子 について

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森永 俊幸

森永 俊幸 について

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林 慎二朗

林 慎二朗 について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース電子材料株式会社

ローム・アンド・ハース電子材料株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-222342
公開番号（公開出願番号）：特開2014-074205
出願日： 2012年10月04日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
要約：
【課題】環境に有害なホルムアルデヒドを用いず、ビアフィリング性に優れた電解銅めっき液を提供する。【解決手段】-X-S-Y-構造(式中、XおよびYはそれぞれ、水素原子、炭素原子、硫黄原子、窒素原子および酸素原子からなる群から選択される原子であり、XおよびYは炭素原子の場合のみ同一となりうる。)を有する化合物および特定の尿素誘導体を含む電解銅めっき液を用いる。【効果】めっき外観の悪化を生じさせず、良好なフィルドビアを形成することができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
-X-S-Y-構造(式中、XおよびYはそれぞれ、水素原子、炭素原子、硫黄原子、窒素原子および酸素原子からなる群から選択される原子であり、XおよびYは炭素原子の場合のみ同一となりうる。)を有する化合物、およびN,N’-ビス(ヒドロキシメチル)尿素を含む電解銅めっき液。
IPC (3件)：
C25D 3/38 ,  C25D 7/00 ,  H05K 3/18
FI (3件)：
C25D3/38 101 ,  C25D7/00 J ,  H05K3/18 G
Fターム (17件)：
4K023AA19 ,  4K023BA06 ,  4K023CB07 ,  4K023CB13 ,  4K024AA09 ,  4K024AB01 ,  4K024BA01 ,  4K024BA12 ,  4K024BA15 ,  4K024BB11 ,  4K024FA06 ,  5E343AA02 ,  5E343BB24 ,  5E343BB71 ,  5E343DD43 ,  5E343GG06 ,  5E343GG11
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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