特許
J-GLOBAL ID：201403003342780657
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮崎 昭夫
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-037111
公開番号（公開出願番号）：特開2014-162181
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】本発明は、吐出口に連通する流路が高精度に形成された信頼性の高い液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、吐出口及び液体流路を形成する流路形成部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、エネルギー発生素子を有する基板の上に前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、前記流路型パターンの上に、吸光度の制御が可能な感光性樹脂を被覆し、樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層の表面に平坦面を有する透光性部材を押しつけ、前記樹脂層の表面を平坦化する工程と、前記樹脂層の吸光度を部分的に増加させる工程と、前記透光性部材を介して前記樹脂層に露光処理を施すことで、前記樹脂層に硬化部分と未硬化部分を形成する工程と、前記吸光度が増加した樹脂層部分の吸光度を減少させる工程と、前記未硬化部分に前記吐出口を形成する工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有する基板と、前記液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を形成する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板の第一の面の上に前記液体流路の型となる流路型パターンを形成する工程と、
(2)前記流路型パターンの上に、吸光度の制御が可能な感光性樹脂を被覆し、樹脂層を形成する工程と、
(3)前記樹脂層の表面に平坦面を有する透光性部材を押しつけ、前記樹脂層の表面を平坦化する工程と、
(4)前記樹脂層の吸光度を部分的に増加させる工程と、
(5)前記透光性部材を介して前記樹脂層に露光処理を施すことで、前記樹脂層に硬化部分と未硬化部分を形成する工程と、ここで、前記吸光度が増加した樹脂層部分に未硬化部分が形成され、
(6)前記吸光度が増加した樹脂層部分の吸光度を減少させる工程と、
(7)前記未硬化部分に前記吐出口を形成する工程と、
をこの順に有し、
前記工程(4)及び(5)において、前記透光性部材の平坦面を前記樹脂層の表面に接触させていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103B
2C057AF93
, 2C057AG46
, 2C057AP47
, 2C057BA13
