特許
J-GLOBAL ID：201403003665153260
グラフェン膜の電極接続構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234901
公開番号（公開出願番号）：特開2014-086592
出願日： 2012年10月24日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】電子デバイス等に利用されるグラフェン膜に接続する電極の剥がれを防止する電極構造を提供する。【解決手段】グラフェン膜103と直接接触している電極104に導電性の電極剥離防止機能層105を設け取り出し電極106と接続する構造とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
基板上に設けられた絶縁膜と、
絶縁膜上に設けられたグラフェン膜と、
グラフェン膜上に設けられたコンタクト電極と、
コンタクト電極の少くとも一部を覆って設けられ、コンタクト電極がグラフェン層から剥離するのを防止するための導通性を有する電極剥離防止層と、
この電極剥離防止層上に設けられた取り出し電極と、
を備えていることを特徴とするグラフェン膜の電極接続構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/28 301B
, C23C28/00 B
4K044AA01
, 4K044BA12
, 4K044BA18
, 4K044BB02
, 4K044BB10
, 4K044BC04
, 4M104AA09
, 4M104AA10
, 4M104BB13
, 4M104BB14
, 4M104CC01
, 4M104FF13
, 4M104GG09
, 4M104GG12
, 4M104HH08
