特許
J-GLOBAL ID：201403004343027240

マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法

発明者：
コックス, デイモン キース

コックス, デイモン キース について

, 
クレマーマン, イズヤ

クレマーマン, イズヤ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-525039
公開番号（公開出願番号）：特表2014-522743
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
マルチリンクロボット内の回転ミスアライメント及び線形ミスアライメントを補正する方法が提供される。その方法によれば、位置及び回転の両方の配向の誤差を補正することによって、目標目的地において基板を配置するか、又は取り出すために、エンドエフェクタの配向を正確に合わせることができるようになる。その方法は、ブームリンケージを目標目的地に隣接する位置まで回転させ、ブームリンケージ及び上側アームリンクを回転させ、かつリスト部材を伸長又は後退させることによって、線形誤差及び回転誤差を補正する。長いブームリンケージを含むシステムが開示される。数多くの他の態様も提供される。【選択図】図5A
請求項（抜粋）：
ロボット内のミスアライメントを補正する方法であって、 ブームリンケージ、前記ブームリンケージに結合される上側アームリンク、前記上側アームリンクに結合される前側アームリンク、前記前側アームリンクに結合されるリスト部材、及び前記リスト部材に結合されるエンドエフェクタを有するロボット装置を設けることと、 前記ブームリンケージを目標場所に隣接する場所に位置決めすることと、 前記エンドエフェクタを前記目標場所近くまで並進させることと、 オフセットの程度を判断することと、 前記ブームリンケージを回転させることによって、線形位置ミスアライメントを少なくとも部分的に補正することと、 回転ミスアライメントを補正することと を含む、ロボット内のミスアライメントを補正する方法。
IPC (2件)：
B25J 9/10 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
B25J9/10 A ,  H01L21/68 A
Fターム (22件)：
3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707CV07 ,  3C707CW07 ,  3C707LT14 ,  3C707LT17 ,  5F131AA02 ,  5F131BA01 ,  5F131BA11 ,  5F131BA17 ,  5F131BA32 ,  5F131BA37 ,  5F131BB04 ,  5F131CA01 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB23 ,  5F131DB52 ,  5F131DB76 ,  5F131DB92 ,  5F131HA12
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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