特許
J-GLOBAL ID：201403005121231546

基板搬送装置

発明者：
ギルクリスト ユリシーズ

ギルクリスト ユリシーズ について

, 
ホフマイスター クリストファー

ホフマイスター クリストファー について


出願人/特許権者：
ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

ブルックス オートメーション インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 藤村 元彦 ,  永岡 重幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236949
公開番号（公開出願番号）：特開2013-059857
特許番号：特許第5363637号
出願日： 2012年10月26日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板搬送装置であって、 フレームと、 共通ショルダージョイントを含む所定数の関節ジョイントを有し、前記共通ショルダージョイントにおいて前記フレームに接続した関節アーム部と、 前記フレームに結合した駆動部と、 前記駆動部に配置されるにあたって選択自在な所定数の異なる交換自在なモータモジュールと、を含み、 前記関節アーム部は、独立動作をなし得る所定数の関節ジョイントを有する第1アーム形態と、独立動作をなし得る前記所定数とは異なる数の関節ジョイントを有する第2アーム形態とを有し、 前記モータモジュールの各々は、前記モータモジュールがユニットとしての駆動部に対して着脱されるようになっている単独モジュールであり、 前記駆動部は、前記モータモジュールの一つだけ受け入れるようになっており、前記モータモジュールの各々は、別のモータモジュールとは異なる所定数の独立駆動軸を有し、 前記モータモジュールの各々は、前記駆動部に配置された時、前記駆動部への前記モータモジュールの配置とは独立し、かつ駆動部内への前記選択されたモータモジュールの配置におけるモータモジュールの選択された1の独立駆動軸の数に応じて第1及び第2のアーム形態の対応する1の選択を生ぜじめるように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B25J 9/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B25J 9/08 ( 200 6.01)
FI (3件)：
B25J 9/06 D ,  H01L 21/68 A ,  B25J 9/08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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