特許
J-GLOBAL ID：201403005421099208
ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
, 渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-284501
公開番号（公開出願番号）：特開2014-124879
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：
【課題】ノズル開口内面や吐出面の耐液性に優れたシリコンノズルプレート並びにそれを用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】 シリコン基板に複数のノズル開口21を設けたノズルプレート20であって、前記シリコン基板の両面及び前記ノズル開口21内面には原子層堆積により形成された酸化タンタル膜201が設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板に複数のノズル開口を設けたノズルプレートであって、
前記シリコン基板の両面及び前記ノズル開口内面には原子層堆積により形成された酸化タンタル膜が設けられていることを特徴とするノズルプレート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP13
, 2C057AP56
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
