特許
J-GLOBAL ID：201403005446333957
電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-147125
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010064
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：
【課題】本発明は、オペレータごとの自動測長パラメータの設定による再現精度のばらつきを防止でき、どのオペレータが自動測長パラメータを設定しても、一定の再現精度を満たすことが可能な技術を提供する。【解決手段】本発明のパラメータ自動設定システム120は、複数の第1の2次電子画像と、複数の第1の2次電子画像から作成される複数の第1の2次電子プロファイルと、複数の第1の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の測長パラメータとを格納する記憶部124と、計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータを設定する演算部123と、を備える。演算部123は、モデルとして登録された2次電子画像から第2の2次電子プロファイルを作成し、第2の2次電子プロファイルとマッチングする第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを記憶部124から取得する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の第1の2次電子画像と、前記複数の第1の2次電子画像から作成される複数の第1の2次電子プロファイルと、前記複数の第1の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の測長パラメータとを格納する記憶部と、
計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータを設定する演算部と、
を備え、
前記演算部は、
予め登録された第2の2次電子画像から第2の2次電子プロファイルを作成し、
前記第2の2次電子プロファイルと前記複数の第1の2次電子プロファイルとのマッチング処理を実行して、前記第2の2次電子プロファイルとマッチングする前記第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを前記記憶部から取得し、
前記計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータとして、前記記憶部から取得された測長パラメータを設定することを特徴とするパラメータ自動設定システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2F067AA16
, 2F067AA22
, 2F067AA26
, 2F067BB01
, 2F067BB04
, 2F067BB27
, 2F067CC17
, 2F067HH06
, 2F067KK04
, 2F067KK08
, 2F067LL17
, 2F067QQ02
, 2F067QQ11
, 2F067RR25
, 2F067RR29
, 2F067RR30
, 2F067RR31
, 2F067RR44
, 2F067SS02
, 2F067SS13
, 2F067TT01
