特許
J-GLOBAL ID：201403005685641612
リソグラフィシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 中村 誠
, 野河 信久
, 白根 俊郎
, 峰 隆司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-178875
公開番号（公開出願番号）：特開2012-238899
特許番号：特許第5631943号
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 パターンをターゲットの表面に転写するマスクレスリソグラフィシステムであって、
複数の小ビーム(22)を発生させるための少なくとも1つのビーム発生装置(50,52,53)と、
前記ターゲットの表面へと小ビームを通過させるか、前記小ビームが前記ターゲットの表面に到達しないように停止させるかを選択するための変調手段とを具備し、前記変調手段は、ビーム発生装置サイドと、ターゲットサイドとを有し、また、前記変調手段は、アレイ状の複数のモジュレータを備えた小ビームブランカープレート(3;24)を有し、前記モジュレータの各々は、少なくとも1つの静電偏向装置(21)と、前記少なくとも1つの静電偏向装置と前記ターゲットサイドとの間のアパーチャ(23)とを有し、前記モジュレータの前記静電偏向装置は、静電偏向装置アレイを規定し、前記モジュレータの前記アパーチャは、アパーチャアレイを規定し、
前記小ビームブランカープレート(3;24)には、前記小ビームブランカープレート(3;24)の平面に配置された光感応素子(11)のアレイが設けられ、前記小ビームは、前記平面に垂直に投影され、前記光感応素子は、前記小ビームブランカープレート(3;24)に組み込まれ、
前記静電偏向装置アレイを構成する各静電偏向装置(21)が、前記光感応素子(11)の1つに動作結合され、
リソグラフィシステムは、さらに、前記モジュレータの各々を制御するための制御ユニットを具備し、この制御ユニットは、それぞれ個々の小ビームの通過または停止を選択するために、パターンデータを発生させ、このパターンデータを前記変調手段に伝送し、前記制御ユニットは、
前記パターンデータを記憶するための少なくとも1つのデータ記憶装置と、
前記データ記憶装置から前記パターンデータを読み取るための少なくとも1つの読み取りユニットと、
前記データ記憶装置から読み取られた前記パターンデータを少なくとも1つの被変調光ビーム(8)に変換するための少なくとも1つのデータ変換装置と、
前記小ビームブランカープレート(3;24)上の前記光感応素子(11)の1つに前記少なくとも1つの被変調光ビーム(8)を伝送するための少なくとも1つの光伝送装置とを備え、この光伝送装置は少なくとも1つの光ファイバを備えている、マスクレスリソグラフィシステム。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H01L 21/30 529
, H01L 21/30 541 W
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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