特許

J-GLOBAL ID：201403005948743822

コンタクトプローブの検査方法、検査装置

発明者： 野口 貴也 ,  竹迫 憲浩
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (3件)： 高田 守 ,  高橋 英樹 ,  久野 淑己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-076924
公開番号（公開出願番号）：特開2014-203883
出願日： 2013年04月02日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：

【課題】本発明は、コンタクトプローブに付着した異物の検出精度を高めることができるコンタクトプローブの検査方法、及び検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】先端部にコンタクトプローブ24の先端部に嵌る形状の嵌合部を有する異物検査端子10と該コンタクトプローブの先端部を近づけ、該嵌合部を該コンタクトプローブの先端部に嵌合させる工程と、一端が該異物検査端子と電気的に接続され、他端が該コンタクトプローブと電気的に接続された抵抗測定部20で、該嵌合部と該コンタクトプローブの先端部との接触抵抗を測定する工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

先端部にコンタクトプローブの先端部に嵌る形状の嵌合部を有する異物検査端子と前記コンタクトプローブの先端部を近づけ、前記嵌合部を前記コンタクトプローブの先端部に嵌合させる工程と、 一端が前記異物検査端子と電気的に接続され、他端が前記コンタクトプローブと電気的に接続された抵抗測定部で、前記嵌合部と前記コンタクトプローブの先端部との接触抵抗を測定する工程と、を備えたことを特徴とするコンタクトプローブの検査方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 35/00

FI (4件)：

H01L21/66 B ,  G01R31/28 K ,  G01R1/06 Z ,  G01R35/00 Z

Fターム (10件)：

2G011AA03 ,  2G011AA04 ,  2G011AA15 ,  2G011AF07 ,  2G132AD03 ,  2G132AD15 ,  2G132AF02 ,  4M106CA10 ,  4M106DD01 ,  4M106DD18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブカードの検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-177913   出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
• 半導体素子の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-162877   出願人：松下電器産業株式会社