プローブカードの検査方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-177913
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221365
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】例えばウェハ上に多数形成されたIC等の半導体チップの電気特性を管理するために用いられるプローブカード61に植立固定された複数の測定針62の位置及び接触抵抗を検査する従来の検査装置では,金属の平板を測定針62全てに接触させて検査を行うため,検査した測定針62の設計情報が必要であり,また,プローブカード61の種類に応じて電圧を走査する電圧制御部65a等の回路構成を新たにする必要があり,過剰な設備投資が必要となっていた。【解決手段】本発明は,測定針1それぞれの先端に独立に接触可能な探触子3と,測定針1を接触抵抗測定手段7に接続するコネクタ部2aの電極端子を全て互いに短絡する短絡手段6とを備えることにより,設計情報なしに検査した測定針1を容易に特定し,また,プローブカード2の種類に応じて回路構成を変更する必要を無くすことを図ったものである。

請求項（抜粋）：

複数の測定針が植立固定されたプローブカードの上記測定針先端の位置及び接触抵抗を検査するプローブカードの検査方法において,予め設定された上記測定針先端の位置を目標として上記プローブカードを,上記測定針それぞれの先端に独立に接触可能な探触子に対して相対的に移動させる移動工程と,上記測定針と上記探触子との接触を検出する接触検出工程と,上記接触検出工程により上記探触子との接触が検出された上記測定針の接触抵抗を測定する接触抵抗測定工程とを具備してなることを特徴とするプローブカードの検査方法。

IPC (4件)：

G01R 1/06 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/06 E , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B , G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

プローブカードチェッカー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-095252 出願人：日本電気株式会社
プローブカード検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-328935 出願人：株式会社東京カソード研究所
プローブカード検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-333051 出願人：株式会社東京カソード研究所

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