光導波路素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：田村爾 , 杉村純子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-074731
公開番号（公開出願番号）：特開2014-199339
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月23日
要約：

【課題】制御電極に電気的接続配線を接続する作業において当該基板の破損を抑制することが可能な光導波路素子を提供すること。【解決手段】電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極(例えば、信号電極)とを有する光導波路素子において、該制御電極が直流電圧を印加する電極であり、該電極の厚みが10μm以下であって、該制御電極と外部の電気回路とを電気的に接続するため、該制御電極の一部に形成された接続用パッドを有し、該接続用パッドの平面上の面積が22000μm2以上であり、該接続用パッドの全体の厚さが10μmより厚いことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子において、該制御電極が直流電圧を印加する電極であり、該電極の厚みが10μm以下であって、該制御電極と外部の電気回路とを電気的に接続するため、該制御電極の一部に形成された接続用パッドを有し、該接続用パッドの平面上の面積が22000μm2以上であり、該接続用パッドの全体の厚さが10μmより厚いことを特徴とする光導波路素子。

IPC (1件)：

G02F 1/035

FI (1件)：

G02F1/035

Fターム (14件)：

2K102AA21 , 2K102BA01 , 2K102BA03 , 2K102BB01 , 2K102BC04 , 2K102CA28 , 2K102DA04 , 2K102DB05 , 2K102DD01 , 2K102DD03 , 2K102DD04 , 2K102DD05 , 2K102EA02 , 2K102EA12

引用特許：

審査官引用 (5件)

光デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-091647 出願人：住友大阪セメント株式会社
光導波路素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-391892 出願人：住友大阪セメント株式会社
光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-276959 出願人：アンリツ株式会社

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