特許
J-GLOBAL ID：201403006529117888
配向カーボンナノチューブの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-222921
公開番号（公開出願番号）：特開2013-047178
特許番号：特許第5594704号
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 還元ガス、原料ガス及び触媒賦活物質を噴出させ、基板の触媒被膜形成面に直交する方向に配向するカーボンナノチューブを化学気相成長により製造するための方法であって、
前記基板の触媒被膜形成面を臨む位置に設けられた複数の噴出孔を備えるシャワーヘッドの該噴出孔から前記還元ガスを噴出させ、該噴出された還元ガスによって前記触媒被膜形成面に存在する金属触媒粒子の密度を1.0×1011から1.0×1013個/cm2に調整させ、かつ、
該シャワーヘッドの噴出孔から前記原料ガス及び前記触媒賦活物質を噴出させ、該噴出された前記原料ガス及び前記触媒賦活物質を前記成長して配向したカーボンナノチューブの集合体中を拡散させて前記触媒被膜形成面と接触させるようにしたことを特徴とする配向カーボンナノチューブの製造方法。
IPC (2件)：
C01B 31/02 ( 200 6.01)
, B82Y 40/00 ( 201 1.01)
C01B 31/02 101 F
, B82Y 40/00
