特許
J-GLOBAL ID：201403014135619902
光照射装置及び光照射方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-240763
公開番号（公開出願番号）：特開2014-042076
出願日： 2013年11月21日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
要約：
【課題】複数の発光源の光量に差異を持たせ、当該発光源の早期劣化を防止することのできる光照射装置及び光照射方法を提供することにある。【解決手段】半導体ウエハWに貼付された紫外線硬化型の接着シートSに紫外線を照射する光照射装置10であり、当該光照射装置10は、テーブル11に相対配置され複数の発光ダイオード20を有する発光手段12と、テーブル11と発光手段12とを相対回転させる駆動手段15と、発光手段12の一端A側と他端B側とを相互に相対回転の回転中心C側に入れ替える反転手段16とを備えている。回転中心C側に位置する発光ダイオード20は、外側に位置する発光ダイオード20よりも光量が低く設定されて早期劣化が防止され、一定期間経過する度に反転手段16によって一端A側と他端B側とが入れ替えられる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被照射体に光を照射する光照射装置において、
前記被照射体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置され、前記被照射体に光の照射を行う複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段と、前記支持手段と発光手段とを前記被照射体の表面に沿って相対回転させる駆動手段と、前記発光手段の一端側又は他端側を前記相対回転の回転中心側に位置させる反転手段とを含み、
前記反転手段は、前記発光手段の前記一端側と他端側とを相互に前記相対回転の回転中心側に位置するように入れ替え可能に設けられ、
前記発光手段は、前記回転中心側に位置する発光源の光量を、外側に位置する発光源の光量よりも低く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つことを特徴とする光照射装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F131AA02
, 5F131BA33
, 5F131BA52
, 5F131BA53
, 5F131CA17
, 5F131CA62
, 5F131EA07
, 5F131EA24
, 5F131EC32
, 5F131EC73
, 5F131KA10
, 5F131KB60
