密接に結合したシンチレータ-光電子増倍管の1又は複数の組合体を含む電子検出器及びそれを使用した電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人丸山国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-524098
公開番号（公開出願番号）：特表2014-527690
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：

【解決手段】電子検出器は複数のアセンブリを含み、複数のアセンブリは、第1SiPMと、第1シンチレータ材料で作られており、第1SiPMのアクティブ光検知面に直接接続された第1シンチレータとを有する第1アセンブリと、第2SiPMと、第2シンチレータ材料で作られており、第2SiPMのアクティブ光検知面に直接接続された第2シンチレータとを有する第2アセンブリを含んでおり、第1シンチレータ材料及び第2シンチレータ材料は互いに異なっている。或いは、電子検出器は、SiPMと前面及び裏面を有するシンチレータ部材とを含むアセンブリを含んでおり、シンチレータ部材は、SiPMのアクティブ光検知面に直接堆積されたシンチレータ材料の膜である。【選択図】図30

請求項（抜粋）：

複数のアセンブリを備えた電子検出器であって、前記複数のアセンブリは、第1SiPMと、第1シンチレータ材料で作られており、前記第1SiPMのアクティブ光検知面に直接接続された第1シンチレータとを有する第1アセンブリと、第2SiPMと、第2シンチレータ材料で作られており、前記第2SiPMのアクティブ光検知面に直接接続された第2シンチレータをと有する第2アセンブリとを含んでおり、前記第1シンチレータ材料及び前記第2シンチレータ材料は、互いに異なる、電子検出器。

IPC (6件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 , H01J 37/26 , H01J 37/22 , G01T 1/20 , G01N 23/225

FI (8件)：

H01J37/244 , H01J37/28 B , H01J37/26 , H01J37/22 502H , G01T1/20 E , G01T1/20 B , G01T1/20 G , G01N23/225

Fターム (25件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001DA10 , 2G001EA03 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001HA13 , 2G188BB02 , 2G188CC09 , 2G188CC23 , 2G188DD05 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033NN03 , 5C033NP06 , 5C033NP08 , 5C033SS04 , 5C033UU04 , 5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (5件)

荷電粒子線応用装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-271609 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-172728 出願人：株式会社日立製作所
二次電子検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-207768 出願人：株式会社島津製作所

全件表示

前のページに戻る