特許
J-GLOBAL ID：201403015257356313
板状被搬送物の受渡方法、受渡装置およびパターン形成装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059727
公開番号（公開出願番号）：特開2014-184998
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】第1保持手段により下面周縁部が支持された状態で保持される板状被搬送物を、第1保持手段の上方で板状被搬送物の上面を吸着保持する第2保持手段に良好に受け渡す。【解決手段】第2保持手段に対して上下方向に貫通して設けられる第1貫通孔から第1吸着部材を下降させて第1保持手段により保持された板状被搬送物の上面の第1吸着位置を吸着保持する第1吸着工程と、第2保持手段に対して第1貫通孔と異なる位置で上下方向に貫通して設けられる第2貫通孔から第2吸着部材を下降させ、板状被搬送物の上面のうち第1吸着位置と異なる第2吸着位置を吸着保持する第2吸着工程と、板状被搬送物を保持した第1吸着部材および第2吸着部材を引き上げ、それぞれ第1貫通孔内および第2貫通孔内に後退させて板状被搬送物を第1保持手段から第2保持手段に移動させる移動工程とを備えている。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
第1保持手段により下面周縁部が支持された状態で保持される板状被搬送物を、前記第1保持手段の上方で前記板状被搬送物の上面を吸着保持する第2保持手段に受け渡す板状被搬送物の受渡方法であって、
前記第2保持手段に対して上下方向に貫通して設けられる第1貫通孔から第1吸着部材を下降させて前記第1保持手段により保持された前記板状被搬送物の上面の第1吸着位置を吸着保持する第1吸着工程と、
前記第2保持手段に対して前記第1貫通孔と異なる位置で上下方向に貫通して設けられる第2貫通孔から第2吸着部材を下降させ、前記板状被搬送物の上面のうち前記第1吸着位置と異なる第2吸着位置を吸着保持する第2吸着工程と、
前記板状被搬送物を保持した前記第1吸着部材および前記第2吸着部材を引き上げ、それぞれ前記第1貫通孔内および前記第2貫通孔内に後退させて前記板状被搬送物を前記第1保持手段から前記第2保持手段に移動させる移動工程と
を備えることを特徴とする板状被搬送物の受渡方法。
IPC (3件)：
B65H 5/10
, B41F 17/14
, B65H 5/08
B65H5/10 C
, B41F17/14 E
, B65H5/08 C
3F101CA02
, 3F101CA05
, 3F101CE16
, 3F101CE17
, 3F101CE25
, 3F101LA15
