画像処理装置、画像処理方法及びプログラム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 渡辺敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141083
公開番号（公開出願番号）：特開2014-007032
出願日： 2012年06月22日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：

【課題】原子番号が近い材料で構成されたコントラスト差がない反射電子像の分解能が低い。【解決手段】反射電子画像を入力画像とする画像処理を行う画像処理装置であって、前記入力画像を入力とし、材料に依存する反射電子の生成効率情報を用いて、測定位置毎に得た輝度値に基づく輝度ヒストグラムの度数のピークをもつピーク輝度値を求め、材料毎の前記ピーク輝度値を出力する材料ピーク検出部と、前記入力画像と材料毎の前記ピーク輝度値に基づいて、材料に依存するコントラストを強調する画像情報調整部とを有することを特徴とする画像処理装置。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

反射電子画像を入力画像とする画像処理を行う画像処理装置であって、前記入力画像を入力とし、材料に依存する反射電子の生成効率情報を用いて、測定位置毎に得た輝度値に基づく輝度ヒストグラムの度数のピークをもつピーク輝度値を求め、材料毎の前記ピーク輝度値を出力する材料ピーク検出部と、前記入力画像と材料毎の前記ピーク輝度値に基づいて、材料に依存するコントラストを強調する画像情報調整部とを有することを特徴とする画像処理装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 , H01J 37/28

FI (4件)：

H01J37/22 502F , H01J37/22 502E , H01J37/22 502H , H01J37/28 B

Fターム (1件)：

5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (4件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-029513 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
コントラスト改善機能を有する画像処理装置及び荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-102790 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-290767

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