走査型電子顕微鏡および画像信号処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-267089
公開番号（公開出願番号）：特開2007-080670
出願日： 2005年09月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】表示画像の明るさ強度のダイナミックレンジを計測し、調整することが可能なSEMおよび画像信号処理方法を提供する。【解決手段】 SEM10は、ダイナミックレンジ参照値を設定するダイナミックレンジ参照値設定部21と、二次電子検出器16が出力する観測像信号を入力し、そのダイナミックレンジ参照値に基づき観測像信号のダイナミックレンジを調整し、調整後の観測像信号を調整後観測像信号として出力するダイナミックレンジ調整部22と、調整後観測像信号に基づき、表示画像の各画素の明るさ強度を求め、表示画像を生成する表示画像生成部24と、その表示画像について明るさ強度のヒストグラムを生成し、明るさ強度の頻度が極大になる値を明るさ強度ピーク値として抽出するヒストグラム生成部26と、生成されたヒストグラムおよび抽出された明るさ強度ピーク値を表示する表示部27とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一次電子線が試料表面に照射されたとき、その試料表面から放出される二次電子を検出し、その検出した二次電子量に基づき観測像信号を生成し、出力する二次電子検出器と、前記二次電子検出器が出力する観測像信号に基づき、前記試料表面の表示画像を生成し、表示する画像信号処理装置とを含んで構成された走査型電子顕微鏡であって、前記画像信号処理装置が、ダイナミックレンジ参照値を設定するダイナミックレンジ参照値設定手段と、前記二次電子検出器が出力する観測像信号を入力し、前記設定されたダイナミックレンジ参照値に基づき前記観測像信号のダイナミックレンジを調整し、その調整された観測像信号を調整後観測像信号として出力するダイナミックレンジ調整手段と、前記ダイナミックレンジ調整手段が出力する調整後観測像信号に基づき、表示画像の各画素の明るさ強度を求め、表示画像を生成する表示画像生成手段と、前記生成した表示画像の各画素の明るさ強度のヒストグラムを生成し、その生成したヒストグラムから明るさ強度の頻度が極大になる値を明るさ強度ピーク値として抽出するヒストグラム生成手段と、前記生成されたヒストグラムおよび前記抽出された明るさ強度ピーク値を表示するヒストグラム表示手段とを備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J37/22 502F , H01J37/28 B , H01J37/22 502E

Fターム (2件)：

5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

出願人引用 (1件)

走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-407984 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

審査官引用 (6件)

特開平4-264341
特開平4-328234
ビームの評価
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-309916 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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