特許

J-GLOBAL ID：201403019123703055

超純水を提供するための方法およびシステム

発明者： ブルース リー コウルター
出願人/特許権者： シーメンス ウォーター テクノロジーズ エルエルシー
代理人 (2件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  久野 琢也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-550516
公開番号（公開出願番号）：特表2014-508033
出願日： 2012年01月16日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：

半導体製造運転のための超純水を提供する方法およびシステムが提供される。水は、遊離基スカベンジングシステムおよび遊離基除去システムを利用することによって処理される。遊離基スカベンジングシステムは、過硫酸アンモニウムなどの遊離基前駆物質化合物を備えた化学線を利用することができる。遊離基除去システムは、還元剤を使用を含むことができる。超純水は、さらに、イオン交換媒体および脱気装置を利用することによって処理されてよい。制御システムは、前駆物質化合物の付加、化学線の強度および水への還元剤の付加を調節するために利用することができる。

請求項（抜粋）：

水を処理するためのシステムであって、 化学線主反応器と、 該化学線主反応器に少なくとも1つの過硫酸塩前駆物質化合物を導入するように配置された過硫酸塩前駆物質化合物の供給源と、 前記化学線主反応器の上流に配置された全有機炭素(TOC)濃度センサと、 前記化学線主反応器の下流に配置された過硫酸塩濃度センサと、 前記化学線主反応器の下流に少なくとも1つの還元剤を導入するように配置された、還元剤の供給源と、 前記少なくとも1つの還元剤の付加箇所の下流に配置された、還元剤濃度センサと、 TOC濃度センサ、過硫酸塩温度センサおよび還元剤濃度センサのうちの少なくとも1つから少なくとも1つの入力信号を受け取り、かつ過硫酸塩前駆物質化合物が化学線主反応器に導入される速度、化学線主反応器における化学線の強度および還元剤がシステムに導入される速度のうちの1つを調節する少なくとも1つの制御信号を発生するように、作用的に接続された制御装置と、を備えることを特徴とする、水を処理するためのシステム。

IPC (12件)：

C02F 1/30 ,  C02F 1/72 ,  C02F 1/70 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/469 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/04 ,  C02F 1/20 ,  B01D 61/02 ,  B01D 61/14 ,  B01D 61/44 ,  C02F 9/00

FI (24件)：

C02F1/30 ,  C02F1/72 Z ,  C02F1/70 Z ,  C02F1/44 J ,  C02F1/46 103 ,  C02F1/42 A ,  C02F1/04 Z ,  C02F1/20 A ,  B01D61/02 ,  B01D61/14 ,  B01D61/44 ,  C02F1/72 101 ,  C02F9/00 504B ,  C02F9/00 503B ,  C02F9/00 502B ,  C02F9/00 502J ,  C02F9/00 502F ,  C02F9/00 502G ,  C02F9/00 502E ,  C02F9/00 502L ,  C02F9/00 502R ,  C02F9/00 502D ,  C02F9/00 502Z ,  C02F9/00 504C

Fターム (62件)：

4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA17 ,  4D006GA32 ,  4D006KA01 ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KB30 ,  4D006KE13R ,  4D006PA01 ,  4D006PC02 ,  4D025AA04 ,  4D025AB34 ,  4D025BA08 ,  4D025BA13 ,  4D025BB04 ,  4D025BB09 ,  4D025CA01 ,  4D025CA10 ,  4D025DA04 ,  4D025DA10 ,  4D034BA03 ,  4D034CA12 ,  4D037AA03 ,  4D037AB01 ,  4D037AB11 ,  4D037AB13 ,  4D037AB16 ,  4D037BA18 ,  4D037BA23 ,  4D037BB01 ,  4D037BB02 ,  4D037BB07 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03 ,  4D037CA04 ,  4D037CA09 ,  4D037CA11 ,  4D037CA15 ,  4D050AA05 ,  4D050AB07 ,  4D050AB40 ,  4D050BA06 ,  4D050BB13 ,  4D050BC09 ,  4D050BD06 ,  4D050BD08 ,  4D050CA02 ,  4D050CA03 ,  4D050CA07 ,  4D050CA08 ,  4D050CA09 ,  4D050CA10 ,  4D050CA15 ,  4D061DA02 ,  4D061DB18 ,  4D061DC13 ,  4D061EA09 ,  4D061FA03 ,  4D061FA07 ,  4D061FA16 ,  4D061FA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 有機物除去方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-068881   出願人：栗田工業株式会社
• 水処理制御システム及びその利用方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-546732   出願人：シ-メンスウォーターテクノロジーズホールディングコープ
• 揮発性有機塩素化合物分解システム及び揮発性有機塩素化合物の分解方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-229972   出願人：栗田工業株式会社