特許

J-GLOBAL ID：201403022519464135

レーザ加工方法およびレーザ光照射装置

発明者： 長能 重博 ,  角井 素貴 ,  岡本 康寛 ,  岡田 晃
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-230968
公開番号（公開出願番号）：特開2014-079802
出願日： 2012年10月18日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
要約：

【課題】レーザ光の集光点の分布範囲を容易に調整することが可能なレーザ加工方法およびレーザ光照射装置を提供する。【解決手段】複数の波長成分を含むレーザ光を出力するレーザ光源と、当該レーザ光源から出射されるレーザ光を受光するコリメートレンズ30と、当該コリメートレンズ30においてコリメートされたレーザ光を受光する集光レンズとを備えるレーザ処理装置を用いたレーザ処理方法であって、加工対象材を準備する工程と、加工対象材に、レーザ処理装置において集光レンズにより集光されたレーザ光を照射する工程とを備える。レーザ光を照射する工程では、コリメートレンズ30および集光レンズの位置を調節し、集光レンズに受光されるレーザ光の波面形状を調節することで、集光レンズにより集光されたレーザ光の、複数の波長成分に対応する複数の焦点により構成される集光領域のサイズが調節されている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

複数の波長成分を含むレーザ光を出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射される前記レーザ光を受光するコリメートレンズと、前記コリメートレンズにおいてコリメートされた前記レーザ光を受光する集光レンズと、前記レーザ光源に対する前記コリメートレンズの位置を調節するコリメートレンズ位置調整部と、前記コリメートレンズに対する前記集光レンズの位置を調節する集光レンズ位置調整部とを備えるレーザ処理装置を用いたレーザ処理方法であって、 加工対象材を準備する工程と、 前記加工対象材に、前記レーザ処理装置において前記集光レンズにより集光された前記レーザ光を照射する工程とを備え、 前記レーザ光を照射する工程では、前記コリメートレンズ位置調整部と前記集光レンズ位置調整部とにより前記コリメートレンズおよび前記集光レンズの位置を調節し、前記集光レンズに受光される前記レーザ光の波面形状を調節することで、前記集光レンズにより集光された前記レーザ光の、前記複数の波長成分に対応する複数の焦点により構成される集光領域のサイズが調節されている、レーザ加工方法。

IPC (2件)：

B23K 26/064 ,  B23K 26/046

FI (2件)：

B23K26/06 A ,  B23K26/04 C

Fターム (6件)：

4E068AE01 ,  4E068CA11 ,  4E068CD01 ,  4E068CD02 ,  4E068CE08 ,  4E068DB11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザ加工用光学装置、レーザ加工装置およびレーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-001121   出願人：株式会社ディスコ
• ファイバレーザ加工機における集光直径の変換制御方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-078054   出願人：株式会社アマダ