特許
J-GLOBAL ID：201403024299151770

検査装置、検査方法、および、検査装置用プログラム

発明者：
樽本 憲寛

樽本 憲寛 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (3件)： 特許業務法人 インテクト国際特許事務所 ,  石川 泰男 ,  奥 和幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-255593
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102211
出願日： 2012年11月21日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：
【課題】誤判定が少なく、高精度に欠陥を検出ができる検査装置等を提供する。【解決手段】 検査対象物Wを検査する検査装置1において、検査対象物Wに平行光Lを照射し(S2)、検査対象物Wから反射した平行光Lの反射光Rをスクリーン(20)に投影した画像を撮像し(S3)、撮像した画像から特徴部分を抽出し(S4)、抽出された特徴部分に基づき、検査対象物の良否を判定する(S5)。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
検査対象物を検査する検査装置において、 前記検査対象物に平行光を照射する照射手段と、 前記検査対象物から反射した前記平行光の反射光をスクリーンに投影した画像を撮像する撮像手段と、 前記撮像した画像から特徴部分を抽出する特徴部分抽出手段と、 前記抽出された特徴部分に基づき、前記検査対象物の良否を判定する判定手段と、 を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/88
FI (1件)：
G01N21/88 Z
Fターム (23件)：
2G051AA01 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051FA04 ,  2G051GD02 ,  2G051GD03 ,  2G051GD06
引用特許：
審査官引用 (5件)
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