特許

J-GLOBAL ID：201403025538101832

窒化ガリウムターゲット

発明者： 菊池 僚 ,  松丸 慶太郎 ,  渋田見 哲夫
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-242638
公開番号（公開出願番号）：特開2014-091852
出願日： 2012年11月02日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：

【課題】 高温でスパッタを行っても接合部分が剥がれない窒化ガリウムのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 ターゲット材である窒化ガリウム成形物と金属部材とを接合層を介して接合した窒化ガリウムターゲットであって、前記接合層がガリウムと反応しない金属を20〜60vol%含む導電性樹脂であることを特徴とする窒化ガリウムターゲット。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

ターゲット材である窒化ガリウム成形物と金属部材とを接合層を介して接合した窒化ガリウムターゲットであって、前記接合層がガリウムと反応しない金属を20〜60vol%含む導電性樹脂であることを特徴とする窒化ガリウムターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203

FI (3件)：

C23C14/34 C ,  C23C14/34 A ,  H01L21/203 S

Fターム (8件)：

4K029BA58 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC22 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ガリウム化合物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-342662   出願人：ミノルタ株式会社
• 窒化ガリウム成形物及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-278931   出願人：東ソー株式会社