特許
J-GLOBAL ID：201403030565506120

レーザー加工装置

発明者：
吉井 俊悟

吉井 俊悟 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005938
公開番号（公開出願番号）：特開2014-136238
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
要約：
【課題】加工室内に清浄度監視モニタを設置する簡易な構成により、加工中であっても、容易に粉塵(デブリ)が充分に排出されていないことを早期に発見することができるため、粉塵(デブリ)が多く付着してしまったウェーハを大量に生産してしまう不具合の発生を防止できる。【解決手段】レーザービーム照射ユニット24は、レーザー光線LBの照射によって加工点付近に生成されるデブリ(粉塵)5を吸引して排出する吸引ブロック(粉塵排出手段)43をさらに備え、加工室27には、加工室27内の空気中に飛散するデブリ5の量を計測し、計測結果を出力する清浄度監視モニタ40が配設されており、清浄度監視モニタ40が所定以上の粉塵が計測されたことを出力することで、加工点付近に生成される粉塵の吸引排出が不充分であることを確認可能なレーザー加工装置2とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、 該チャックテーブルで保持された該被加工物の表面に該被加工物に対して吸収性を有する波長のレーザー光線を照射してレーザー加工溝を形成するレーザー光線照射手段と、 該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを覆う加工室と、を備えたレーザー加工装置において、 該レーザー光線照射手段は、 レーザー光線の照射によって加工点付近に生成される粉塵を吸引して排出する粉塵排出手段をさらに備え、 該加工室には、 該加工室内の空気中に飛散する該粉塵の量を計測し、計測結果を出力する清浄度監視モニタが配設されており、 該清浄度監視モニタが所定値以上の粉塵が計測されたことを出力することで、加工点付近に生成される粉塵の吸引排出が不充分であることを確認可能なレーザー加工装置。
IPC (2件)：
B23K 26/00 ,  B23K 26/16
FI (2件)：
B23K26/00 M ,  B23K26/16
Fターム (10件)：
4E068AD00 ,  4E068CA09 ,  4E068CA18 ,  4E068CC00 ,  4E068CC02 ,  4E068CE04 ,  4E068CE11 ,  4E068CF03 ,  4E068CG02 ,  4E068DA10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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