特許
J-GLOBAL ID：201403033156067416

形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、光学式形状測定装置、構造物製造システム、及び測定条件設定装置

発明者：
山口 雅哉

山口 雅哉 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005460
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137265
出願日： 2013年01月16日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
要約：
【課題】測定対象の形状を正確に測定することができる、形状測定方法を提供する。【解決手段】形状測方法は、光プローブからの測定光を測定対象の第1領域に照射する照射ステップと、測定光が照射された第1領域の像を前記光プローブで撮像し、撮像した第1領域の像の画像データを生成する撮像ステップと、撮像ステップにおいて生成された画像データと、基準画像データとに基づいて、測定対象の第1領域の位置と基準領域の位置との偏差を示す偏差情報を算出する偏差算出ステップと、光プローブと測定対象との相対位置を変えながら、光プローブにより測定対象の各部位の位置を測定する測定ステップとを有する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
光プローブからの測定光を測定対象の第1領域に照射する照射ステップと、 前記測定光が照射された前記第1領域の像を前記光プローブで撮像し、撮像した前記第1領域の像の画像データを生成する撮像ステップと、 前記撮像ステップにおいて生成された前記画像データと、基準画像データとに基づいて、前記測定対象の第1領域の位置と基準領域の位置との偏差を示す偏差情報を算出する偏差算出ステップと、 前記光プローブと前記測定対象との相対位置を変えながら、前記光プローブにより前記測定対象の各部位の位置を測定する測定ステップ を有する形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
G01B11/24 K ,  G01B11/00 H
Fターム (29件)：
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB16 ,  2F065CC05 ,  2F065CC08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG12 ,  2F065GG16 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM04 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP18 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065TT08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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