特許
J-GLOBAL ID：201103033065745657
物体形状評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
北村 修一郎
, 山▲崎▼ 徹也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-024485
公開番号（公開出願番号）：特開2011-163823
出願日： 2010年02月05日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】測定点群と基準点群との合同変換が適正に行われるとともに、基準点群と測定点群とのずれから欠陥を検出する際に型修正に起因する欠陥誤検出が低減される物体形状評価装置を提供する。【解決手段】物体形状評価装置は、金型を用いて製作された測定対象物の測定点と基準点との間の距離を逐次収束させることで測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段50と、位置合わせ処理後の基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群を欠陥と判定する欠陥評価手段6とを備えている。欠陥評価手段6には、前回での欠陥位置を含む欠陥情報に基づいて当該欠陥を型修正箇所とみなす型修正評価部63と、これによって評価された型修正箇所に関する型修正箇所情報が型修正箇所情報格納部83に登録される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
金型を用いて製作された測定対象物の形状に対応する多数の測定点の位置情報を含む測定点データを入力する測定データ入力部と、前記測定対象物の基準形状に対応する多数の基準点の位置情報を含む基準点データを格納する基準データ格納部と、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて前記測定点と前記基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段と、前記位置合わせ処理手段による位置合わせ処理後の前記基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群によって規定される表面領域を欠陥と判定する欠陥判定部を有する欠陥評価手段とを含み、
前記欠陥評価手段には、複数の測定対象物における前記欠陥に与えられた欠陥位置を含む欠陥情報に基づいて当該欠陥を型修正箇所とみなす型修正評価部と、前記型修正評価部によって評価された型修正箇所に関する型修正箇所情報を生成して型修正箇所情報格納部に登録する型修正箇所情報登録部とが備えられている物体形状評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 K
, G01B11/30 A
2F065AA04
, 2F065AA49
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC00
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL59
, 2F065PP03
, 2F065PP13
, 2F065QQ00
, 2F065QQ04
, 2F065QQ13
, 2F065QQ17
, 2F065QQ21
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ33
, 2F065QQ38
, 2F065RR05
, 2F065RR08
