特許
J-GLOBAL ID：201403033798500016

オクタポール装置及びスポットサイズ向上方法

発明者：
アレクサンドラ クレイマー

アレクサンドラ クレイマー について

, 
シュテファン ラニオ

シュテファン ラニオ について


出願人/特許権者：
アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー について


代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  渡邊 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-214365
公開番号（公開出願番号）：特開2014-082211
出願日： 2013年10月15日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
要約：
【課題】走査型荷電粒子ビーム装置に関して機械的、磁気的及び/又は静電的誤差を補償する。【解決手段】走査型荷電粒子ビーム装置における機械的、磁気的及び/又は静電的誤差を補償する方法が開示される。この方法は、アライメント手順を含み、このアライメント手順では、次のステップ、即ち、少なくとも8極補償能力を備えた素子により4重非点収差を補償するステップが実施され、アライメント手順の位置合わせ及び補償ステップは、各々少なくとも50μmのビーム寸法が2つの互いに直交した方向に向くと共に少なくとも、少なくとも8極補償能力を備えた素子と同軸に位置合わせされた状態で荷電粒子ビームに作用する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
走査型荷電粒子ビーム装置における機械的、磁気的又は静電的誤差を補償する方法であって、 アライメント手順を含み、該アライメント手順は、 少なくとも8極補償能力を備えた素子により4重非点収差を補償するステップを含み、 前記アライメント手順の前記位置合わせステップ及び前記補償ステップは、各々少なくとも50μmのビーム寸法が2つの互いに直交した方向に向くと共に少なくとも、前記少なくとも8極補償能力を備えた前記素子と同軸に位置合わせされた状態で荷電粒子ビームに作用する、方法。
IPC (2件)：
H01J 37/153 ,  H01J 37/04
FI (2件)：
H01J37/153 B ,  H01J37/04 B
Fターム (4件)：
5C030AA06 ,  5C030AB02 ,  5C030AB03 ,  5C033JJ01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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