特許
J-GLOBAL ID:201403035209657256
屈折率センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小池 晃
, 伊賀 誠司
, 藤井 稔也
, 野口 信博
, 祐成 篤哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-178970
公開番号(公開出願番号):特開2013-253953
出願日: 2012年08月10日
公開日(公表日): 2013年12月19日
要約:
【課題】物理的な損傷を受けにくく、液体、気体及び固体の屈折率の測定に適用できる屈折率センサを提供する。【解決手段】光源部2と、光ファイバ7の一端面7Aに形成された誘電体多層膜8に被測定物が接しており、光ファイバ7を介して光源部2からの出力光が入射される光学バンドパスフィルタ3と、被測定物による反射光のスペクトルを測定する測定部4と、反射光のスペクトルの中心波長に基づいて、反射光の屈折率を算出する屈折率算出部とを備え、誘電体多層膜8は、略中央に配置されたキャビティ層の両側に複数の高屈折率層及び複数の低屈折率層を積層した反射多層膜を有する。高屈折率層と低屈折率層とを合わせた光学的厚さは、光源部2からの出力光の中心波長をλ0としたときにλ0/2であり、各層の光学的厚さは、それぞれλ0/4とは異なる値である。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光を出力する光源部と、
光伝送路の一端面に誘電体多層膜が形成されており、上記光伝送路と接している一端とは他端側の誘電体多層膜上に、所定の屈折率を有する被測定物が接しており、上記光伝送路を介して上記光源部から出力された光が入射される光学バンドパスフィルタと、
上記光学バンドパスフィルタに入射した光が上記被測定物で反射された反射光のスペクトルを測定する測定部と、
上記測定部で測定した反射光のスペクトルの中心波長に基づいて、上記反射光の屈折率を算出する屈折率算出部とを備え、
上記誘電体多層膜は、
略中央に配置されたキャビティ層と、
上記キャビティ層の両側に、複数の高屈折率層及び上記高屈折率層よりも屈折率が小さい複数の低屈折率層を積層した反射多層膜とを有し、
上記高屈折率層と上記低屈折率層とを合わせた光学的厚さは、上記光源部から出力された光の中心波長をλ0としたときにλ0/2であり、
上記高屈折率層及び上記低屈折率層の各層の光学的厚さは、それぞれλ0/4とは異なる値である屈折率センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (14件):
2G059AA02
, 2G059BB01
, 2G059BB04
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ03
, 2G059JJ17
, 2G059MM01
引用特許:
引用文献:
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