特許
J-GLOBAL ID：201403042539481819
マイクロデバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-069841
公開番号（公開出願番号）：特開2014-188669
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：
【課題】製造中および使用中における基板と可動構造体との固着防止効果の一定化が容易なマイクロデバイスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】基板1Aと可動構造体5c、5eとを支持部5c1で接続し、支持部5c1を熱酸化して熱酸化膜7を形成した後、熱酸化膜7をエッチング除去することにより、基板1Aと可動構造体5c、5eとの少なくとも一方に固着防止用の凸部3d、5fが形成される。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板との間に隙間を介して配置された可動構造体を第1および第2の支持部の各々で前記基板に対して支持した支持構造を形成する工程と、
前記基板から前記可動構造体に向かう上下方向における前記第2の支持部の少なくとも一部において、前記第2の支持部の前記上下方向に直交する幅方向の全体が酸化するように酸化膜を形成する工程と、
前記酸化膜を除去することにより、前記第2の支持部が形成されていた箇所において前記基板から前記可動構造体を浮かせ、前記基板および前記可動構造体の少なくとも一方の前記第2の支持部が接続されていた箇所に凸部を形成し、かつ前記基板に対して前記可動構造体を前記第1の支持部で支持する工程とを備えた、マイクロデバイスの製造方法。
IPC (4件)：
B81C 1/00
, B81B 3/00
, G01P 15/125
, G01C 19/571
B81C1/00
, B81B3/00
, G01P15/125 Z
, G01C19/56 212
2F105BB14
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 2H045AB16
, 3C081AA02
, 3C081BA01
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081CA03
, 3C081CA14
, 3C081CA15
, 3C081CA26
, 3C081DA04
, 3C081EA02
, 3C081EA08
