特許
J-GLOBAL ID：201403043189226515

固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器

発明者：
徳満 千絵

徳満 千絵 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-198556
公開番号（公開出願番号）：特開2014-053553
出願日： 2012年09月10日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：
【課題】配線幅を狭くしたり転送電極を重ねないことなどから寄生容量を低減して、高速駆動時の電荷転送部の駆動波形なまりによる転送劣化を改善すると共に、受光部周囲のデバイス高さを低くしかつ受光部の開口部面積を拡大して受光感度を向上させる。【解決手段】垂直電荷転送レジスタ2は、半導体基板6の上部側に、平面視所定幅で配設され、各信号電荷を垂直方向に電荷転送するための垂直電荷転送部7と、垂直電荷転送部7上にゲート絶縁膜81を介して順次繰り返し並べられた第1層目の単位構成の複数の転送電極31〜34と、単位構成の複数の転送電極33、34にそれぞれ対応して接続されて繰り返し並べられた第2層目の金属製の駆動配線43,44と、さらに、第2層目の金属製の駆動配線43,44上に絶縁膜83を介して、複数の転送電極32、31にそれぞれ接続されて繰り返し並べられた第3層目の金属製の駆動配線52,51とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
入射光を光電変換して撮像する複数の受光部と、該複数の受光部から読み出された各信号電荷を電荷転送する電荷転送手段とを有した固体撮像素子において、 該電荷転送手段の複数の転送電極を列方向の複数の受光部毎に該列方向に順次並べて第1層目として配設し、該複数の転送電極の一部にそれぞれ接続される第2層目の金属駆動配線が該列方向と直交する行方向の横長で該列方向の縦並びに配設され、該第2層目の金属駆動配線上に層間絶縁膜を介して配設され、該複数の転送電極の残りの一部にそれぞれ接続される第3層目の金属駆動配線が該列方向と直交する行方向の横長で該列方向の縦並びに配設された固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/148 ,  H04N 5/372 ,  H04N 5/369
FI (3件)：
H01L27/14 B ,  H04N5/335 720 ,  H04N5/335 690
Fターム (22件)：
4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118DA18 ,  4M118DA20 ,  4M118DB08 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5C024AX01 ,  5C024CX41 ,  5C024GX03 ,  5C024GX07 ,  5C024GY01 ,  5C024JX25
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)

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