特許
J-GLOBAL ID：201403043260400742

切削方法

発明者：
廣沢 俊一郎

廣沢 俊一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-132750
公開番号（公開出願番号）：特開2013-258235
出願日： 2012年06月12日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：
【課題】 一定幅の切削ブレードで所望の幅の切削溝を形成可能な切削方法を提供することである。【解決手段】 被加工物に所望の幅を有する切削溝を形成する切削方法であって、スピンドルに第1の幅を有する切削ブレードが貼着された切削手段と、被加工物を回転可能に保持するチャックテーブルと、該切削手段と該チャックテーブルとをX軸方向に相対移動させるX軸移動手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを該X軸方向に直交するY軸方向に相対移動させるY軸移動手段と、を備えた切削装置を準備する準備ステップと、該チャックテーブルで切削予定ラインが設定された被加工物を保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該切削ブレードと該チャックテーブルとを相対移動させつつ該切削ブレードで該切削予定ラインに沿って被加工物を切削する切削ステップと、を備え、該切削ステップは、該切削ブレードが該切削予定ラインに対して傾斜した状態で切削が遂行される傾斜切削を含むことを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物に所望の幅を有する切削溝を形成する切削方法であって、 スピンドルに第1の幅を有する切削ブレードが貼着された切削手段と、被加工物を回転可能に保持するチャックテーブルと、該切削手段と該チャックテーブルとをX軸方向に相対移動させるX軸移動手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを該X軸方向に直交するY軸方向に相対移動させるY軸移動手段と、を備えた切削装置を準備する準備ステップと、 該チャックテーブルで切削予定ラインが設定された被加工物を保持する保持ステップと、 該保持ステップを実施した後、該切削ブレードと該チャックテーブルとを相対移動させつつ該切削ブレードで該切削予定ラインに沿って被加工物を切削する切削ステップと、を備え、 該切削ステップは、該切削ブレードが該切削予定ラインに対して傾斜した状態で切削が遂行される傾斜切削を含むことを特徴とする切削方法。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 F
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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