特許

J-GLOBAL ID：201403043965399689

薄いガラス基板用のキャリアおよびその使用方法

発明者： ブリューニング, アンドレ ,  ハイミル, オリバー ,  ヒンタ-シュスター, ライナー ,  ヴォルフ, ハンス ゲオルク
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-531115
公開番号（公開出願番号）：特表2014-531759
出願日： 2011年09月27日
公開日（公表日）： 2014年11月27日
要約：

基板処理チャンバ内において少なくとも0.174m2の面積を有する大面積ガラス基板を支持するキャリアが記述される。キャリアは、基板の上側で基板を保持するように構成され、基板を処理する間、基板の重量の少なくとも60%を支えるように構成された少なくとも1つの固定要素と、基板を処理する間、基板を本質的に垂直な配向で保持するように適合された少なくとも1つの支持部分とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板処理チャンバ内において、大面積ガラス基板(101)、特に少なくとも0.174m2の面積を有する大面積ガラス基板(101)を支持するキャリア(100)であって、 前記ガラス基板の上側で前記基板を保持するように構成され、前記基板を処理する間、前記基板の重量の少なくとも60%を支えるように構成された少なくとも1つの固定要素(122;422、522)と、 前記基板を処理する間、前記基板を本質的に垂直な配向で保持するように適合された少なくとも1つの支持部分(110)と を備えるキャリア(100)。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/44 ,  B65G 49/06

FI (4件)：

H01L21/68 N ,  C23C14/50 D ,  C23C16/44 F ,  B65G49/06 A

Fターム (30件)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029JA01 ,  4K029JA06 ,  4K029KA01 ,  4K030CA06 ,  4K030CA17 ,  4K030GA02 ,  4K030GA12 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131AA34 ,  5F131BA03 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131BA24 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA52 ,  5F131EA03 ,  5F131EA22 ,  5F131EB32 ,  5F131EB36 ,  5F131EB38 ,  5F131EB56 ,  5F131EB62 ,  5F131EB78 ,  5F131FA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガラス基板のスパッタリング方法及びスパッタリング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-150200   出願人：富士通株式会社
• ガラス基板の移送用把持具および該把持具を用いたガラス基板搬送用ボックスへの収納方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-236987   出願人：旭平硝子加工株式会社
• ガラス基板検査用のクランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-002984   出願人：三星コーニング精密琉璃株式会社