特許
J-GLOBAL ID：200903096342264029
ガラス基板検査用のクランプ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-002984
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172783
出願日： 2004年01月08日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】検査に要する時間を短縮し、ガラス基板に物理的な接触を最小化して欠陥の発生を抑制し、且つ、ガラス基板の振動を防止して正確な検査が行われるようにすること【解決手段】ガラス基板検査用のクランプ装置であって、検査ゾーンに設置される固定フレームと、第1、第2上部クランプ、および、第1、第2下部クランプとからなり、第2下部クランプは、固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、固定フレームの両側にそれぞれ設置され、ガラス基板の両端部をクランプすると共に、ガラス基板が左右に伸ばされるようにガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガラス基板を検査するために検査ゾーンにクランプする装置であって、
前記検査ゾーンに設置される固定フレームと、
前記固定フレームの上側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の上端部をクランプする第1及び第2上部クランプからなり、前記第1上部クランプは前記固定フレームの上側に固定され、前記第2上部クランプは、前記固定フレームの上側に沿って左右に移動自在に設置される上部クランプ手段と、
前記固定フレームの下側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の下端部をクランプすると共に、前記ガラス基板が上下に伸ばされるように前記ガラス基板を下方に引っ張る第1及び第2下部クランプからなり、前記第1下部クランプは、前記固定フレームの下側に固定され、前記第2下部クランプは、前記固定フレームの下側に沿って左右に移動自在に設置される下部クランプ手段と、
前記固定フレームの両側にそれぞれ設置され、前記ガラス基板の両端部をクランプすると共に前記ガラス基板が左右に伸ばされるように前記ガラス基板を両側に引っ張る複数の側部クランプからなる側部クランプ手段とを含むガラス基板検査用のクランプ装置。
IPC (5件)：
G01N21/84
, B65G49/06
, G01N21/958
, G02F1/13
, H01L21/68
G01N21/84 C
, B65G49/06 A
, G01N21/958
, G02F1/13 101
, H01L21/68 S
2G051AA84
, 2G051AB02
, 2G051AC15
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2H088FA11
, 2H088FA17
, 2H088FA18
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 3C016CA04
, 3C016CB06
, 3C016CE05
, 5F031CA05
, 5F031GA10
, 5F031GA14
, 5F031GA15
, 5F031LA15
, 5F031MA33
