特許
J-GLOBAL ID：201403044383302474
データベース駆動型のセルツーセルレチクル検査
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-508467
公開番号（公開出願番号）：特表2014-515859
出願日： 2012年04月23日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：
半導体検査装置は、半導体設計データベースを分析することにより、セルツーセル検査に適したレチクルまたは半導体ウェーハの領域を特定する。適切な領域を、オフライン検査ツールによって用いられる領域マップ内において特定することができる。
請求項（抜粋）：
検査装置であって、
プロセッサと、
前記プロセッサへ接続されたメモリと、
前記プロセッサへ接続された画像化デバイスであって、レチクルまたは半導体ウェーハのうち少なくとも1つのセルツーセル検査のために構成された画像化デバイスと、
コンピュータで実行可能なプログラムコードであって、前記プログラムコードは、前記プロセッサ上において実行するように構成され、前記コンピュータで実行可能なプログラムコードは、半導体設計データベースに基づいてセルツーセル検査に適切であると特定された前記レチクルまたは半導体ウェーハの領域のセルツーセル検査を行うように構成される、コンピュータで実行可能なプログラムコードと
を含む、装置。
IPC (3件)：
G06T 1/00
, G01N 21/956
, G01N 21/88
G06T1/00 305A
, G01N21/956 A
, G01N21/88 J
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051ED04
, 2G051ED11
, 2G051ED21
, 2G051GD01
, 5B057AA03
, 5B057DA03
, 5B057DA08
, 5B057DB02
, 5B057DC32
